掠入射XRD（GIXRD）

优势

1.测试光是平行光，相对于常规的衍射光来说能量较小，因此掠入射测试XRD的谱图绝对峰强相对较弱。但是平行光可以更好的关注薄膜表面的信息，也不容易测到基底，因此掠入射XRD专门用于测试薄膜样品。

2.GIXRD的入射角非常小，导致X射线的穿透率减小，这样衍射所反应的表面物相形貌更加精确。掠入射X射线衍射适用于研究薄膜晶体结构，不仅可以增强衍射峰信号，还可以得到三维结构信息。

样品要求

1.薄膜尺寸没有特别要求，但是需要测试面平整光洁，不要有遮挡物，这样测试结果才真实可信；

2.样品整体长宽1cm；

3.镀层或者薄膜厚度一般不要低于50nm，否则可能测不出信号；

4.粉末、液体等其他无法测试。

结果展示